維修/保養/整修
渦輪分子幫浦維修 Turbo Pump Repair
品牌
系列
型號
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SHIMADZU (島津)All Series (全系列)All Type (全型號)
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EDWARDS (愛德華)All Series (全系列)All Type (全型號)
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LEYBOLD (萊寶)All Series (全系列)All Type (全型號)
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PFEIFFER (普發)All Series (全系列)All Type (全型號)
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Agilent (安捷倫)All Series (全系列)All Type (全型號)
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Varian (瓦里安)All Series (全系列)All Type (全型號)
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OSAKA (大阪)All Series (全系列)All Type (全型號)
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Alcatel (Adixen) 阿爾卡特All Series (全系列)All Type (全型號)
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ULVAC (優貝克)All Series (全系列)All Type (全型號)
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SEIKO SEIK (精工精機)All Series (全系列)All Type (全型號)
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Mitsubishi (三菱)All Series (全系列)All Type (全型號)
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EBARA (荏原)All Series (全系列)All Type (全型號)
粗抽幫浦維修 Rough Pump Repair
品牌
系列
型號
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ULVACDA40S / 60
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KAWAKEJP90V / 120H
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ADIXENAMD1 / ACP108987
28 / 40 -
VACUTRONICSDP120V
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PFEIFFERMVP015 / 020 / 035 / 040
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ALCTELADP122P
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AGILENTIDP3 / 15
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EDWARDSESD / XDS12 / 30
5 / 6i / 10 / 35i -
VARIAN949 / MD4 / SH / PTS9411
9451
100 / 110
300 / 600
其它服務項目
檢測服務
1、小型高真空抽氣系統訂製。
2、氦氣測漏儀維修，真空系統洩漏檢測排除。
3、殘餘氣體分析儀維修，真空腔體殘餘氣體分析，監測系統。
4、高、低真空GAUGE 維修，檢查校正。
5、廠務監測系統(CMS)整合，建置。
2、氦氣測漏儀維修，真空系統洩漏檢測排除。
3、殘餘氣體分析儀維修，真空腔體殘餘氣體分析，監測系統。
4、高、低真空GAUGE 維修，檢查校正。
5、廠務監測系統(CMS)整合，建置。
